(资料图片仅供参考)
证券日报网讯国林科技（300786）10月27日在互动平台回答投资者提问时表示，臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体目前主营业务产品包括：臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等，可应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域，目前占公司营业收入比重较小。公司主要产品及应用领域请参考公司及子公司官网产品介绍。
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证券日报网讯国林科技（300786）10月27日在互动平台回答投资者提问时表示，臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体目前主营业务产品包括：臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等，可应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域，目前占公司营业收入比重较小。公司主要产品及应用领域请参考公司及子公司官网产品介绍。
